Paralellik
Paralellik ölçümleri için gerekli optik elemanların seçimi, seçilen ölçüm yöntemine bağlıdır: yani 3D veya Wollaston. 3D yöntemi kullanılıyorsa, doğrusal optik artı dik açılı etalon kullanılmalıdır.
3D metodu
- Lazer kafası
- Güç kaynağı
- Lineer İnterferometre IL1
In this case the necessary components are:
- Lineer Retro-reflektör RL1
- Sağ açı etalon RE3D
3D yöntemine dayalı paralellik ölçümleri, yukarıdaki şekillerde gösterildiği gibi lazer ışını boyunca hizalanacak optik elemanlar IL1 ve RL1’i gerektirir. RL1 elemanı hareket ettirilmelidir. Işın, dik açı etalon RE3D kullanılarak dik eksene yönlendirilmelidir.
Wallastone metodu
Wollaston paralellik ölçümleri, WP2 ve WRP2 optik elemanlarının, şekil 11.3’te gösterildiği gibi lazer ışını boyunca hizalanmasını gerektirir. WP2 elemanı önce Eksen 1 boyunca ve ardından Eksen 2 boyunca hareket ettirilmelidir. Bu ölçüm için dik açılı prizmaya gerek yoktur.
