La elección de los elementos ópticos necesarios para las mediciones de paralelismo depende del método de medición seleccionado: es decir, 3D o Wollaston. Si se usa el método 3D, se debe usar tanto la óptica lineal como el etalón en ángulo recto.
Método 3D
En este caso los componentes necesarios son:
- Cabezal láser
- Fuente de alimentación
- Interferómetro lineal IL1
- Catadióptrico lineal RL1
- Etalón de ángulo recto RE3D
Las mediciones de paralelismo basadas en el método 3D requieren que los elementos ópticos IL1 y RL1 estén alineados a lo largo del rayo láser como se muestra en las figuras anteriores. El elemento RL1 debe moverse. El haz debe dirigirse al eje perpendicular con el uso del etalón RE3D en ángulo recto.
Método de Wollaston
Las mediciones de paralelismo de Wollaston requieren que los elementos ópticos WP2 y WRP2 estén alineados a lo largo del rayo láser como se muestra en la figura. El elemento WP2 debe moverse primero a lo largo del Eje 1 y luego a lo largo del Eje 2. No es necesario un prisma en ángulo recto para esta medición.
