Équerrage

Le choix des éléments optiques nécessaires pour les mesures d’équerrage dépend de la méthode de mesure choisie: c’est-à-dire 3D ou Wollaston. Si la méthode 3D est utilisée, l’optique linéaire plus l’étalon à angle droit doivent être utilisées. Dans ce cas, les composants nécessaires sont:

Dans le cas de la mesure de type Wollaston, les composants nécessaires sont:

Pour les deux méthodes, les éléments facultatifs sont similaires:

Les mesures d’équerrage basées sur la méthode 3D nécessitent que les éléments optiques IL1 et RL1 soient d’abord alignés le long du faisceau laser, comme indiqué sur la figure ci-dessous. L’élément RL1 doit être déplacé. Les résultats obtenus de la rectitude de l’axe doivent être enregistrés pour un traitement ultérieur.

Dans la phase suivante des mesures, le faisceau doit être dirigé vers l’axe perpendiculaire à l’aide de l’étalon à angle droit RE3D ou REW.

Préparations de l'installation

OPTICAL PATH SET UP FOR 3D SQUARENESS MEASUREMENTSFIRST AXIS

La configuration optique est illustrée dans la figure ci-dessous. La mesure de la rectitude de l’axe doit être effectuée avec le mouvement de l’élément RL1.

OPTICAL PATH SET UP FOR 3D SQUARENESS MEASUREMENTS- SECOND AXIS

Les mesures d’équerrage de Wollaston nécessitent que les éléments optiques WP2 et WRP2 soient alignés le long du faisceau laser comme indiqué sur les figures 10.3A et 10.3B. Le faisceau doit être dirigé vers l’axe perpendiculaire à l’aide de l’étalon à angle droit REW. Les mesures se composent de deux parties. Dans la première partie, le WP2 est déplacé entre la tête laser et le prisme REW (Fig. 10.3A). Pendant la deuxième partie, le WP2 doit être placé entre REW et WRP2

OPTICAL PATH SET UP FOR WOLLASTONE SQUARENESS MEASUREMENTS - SCHEMATIC FOR FIRST AXIS. RETURN BEAMS NOT DRAWN FOR FIGURE CLARITY.
OPTICAL PATH SET UP FOR WOLLASTONE SQUARENESS MEASUREMENTS - SCHEMATIC FOR SECOND AXIS. RETURN BEAMS NOT DRAWN FOR FIGURE CLARITY