Pomiary płaskości za pomocą HPI-3D
Podstawy
Do pomiarów płaskości należy użyć optyki kątowej oraz dodatkowych luster. Konieczne komponenty to:
- Głowica laserowa
- Zasilacz
- Interferometr kątowy IK1
- Kątowy retro-reflector RK1
- Dwa lustra ZK1
Opcjonalne elementy to:
- Kabel USB
- Pilot
- Uchwyt magnetyczny UM2
- Statyw
- Czujnik temperatury powietrza
- Czujnik temperatury bazy
Pomiary płaskości wymagają, aby elementy optyczne IK1 i RK1 były wyrównane wzdłuż wiązki laserowej, jak pokazano na poniższym rysunku dla pierwszej osi. Element IK1 jest nieruchomy, a element RK1 jest przesunięty. Inne osie można mierzyć za pomocą jednego lub dwóch giętarek wiązki o stałej pozycji głowicy lasera lub przesuwając pozycję głowicy lasera. W obu przypadkach wymagane jest wyrównanie komponentów IK1 i RK1. Zaleca się stosowanie opcji ze stałą pozycją głowicy lasera, ponieważ upraszcza to proces realignment.
Podczas pomiarów płaskości zaleca się użycie czujnika temperatury powietrza.
Podstawowe czujniki temperatury nie muszą być używane.
