Wybór elementów optycznych niezbędnych do pomiarów równoległości zależy od wybranej metody pomiarowej, tj. 3D lub Wollaston. Jeśli stosowana jest metoda 3D, należy użyć optyki liniowej oraz wzorca kątowego prostego.
Metoda 3D
W tym przypadku niezbędnymi komponentami są:
- Głowica laserowa
- Zasilanie
- Interferometr liniowy IL1
- Odbłyśnik liniowy RL1
- Etalon RE3D
Pomiar równoległości oparty na metodzie 3D wymaga, aby elementy optyczne IL1 i RL1 były wyrównane wzdłuż promienia lasera, jak pokazano na poprzednich rysunkach. Element RL1 musi się poruszać. Wiązka powinna być skierowana na oś prostopadłą za pomocą wzorca RE3D pod kątem prostym.
Metoda Wollastona
Pomiary równoległości metodą Wollastona wymagają, aby elementy optyczne WP2 i WRP2 były wyrównane wzdłuż promienia lasera, jak pokazano na rysunku. Element WP2 musi najpierw poruszać się wzdłuż osi 1, a następnie wzdłuż osi 2. Do tego pomiaru nie jest potrzebny pryzmat pod kątem prostym.
