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Système de mesure laser avec 6 DOF

6 DOF measurement system
Interféromètre MS-6 : système multi-axes destiné à la mesure des erreurs géométriques des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) et des machines-outils à commande numérique (CNC). Le système laser permet la mesure simultanée des 3 erreurs de translation et des 3 erreurs de rotation de l’axe examiné, permettant :

  1. La mesure linéaire sur une portée de 4 m avec une incertitude relative de 0,5 × 10-6 (0,5 μm/m).
  2. La mesure de rectitude dans une plage de ± 0,2 mm, avec une incertitude de ± (2 μm + 0,01 × l’écart mesuré) ou de 0,1 % de la plage de mesure.
  3. La mesure des angles d’inclinaison (tangage*) et de lacet (lacet*) dans une plage de ± 400 secondes d’arc, avec une incertitude de ± (0,6 seconde d’arc + 0,05 seconde d’arc/m).
  4. La mesure de l’angle de roulis (roulis*) dans une plage de ± 400 secondes d’arc, avec une incertitude de ± 1,5 seconde d’arc.
  5. La mesure du parallélisme avec une incertitude de ± (1,0 seconde d’arc + 0,2 seconde d’arc/m + 0,033 de l’indication).
  6. La mesure de la perpendicularité avec une incertitude de ± (1,0 seconde d’arc + 0,2 seconde d’arc/m + 0,033 de l’indication).
  7. Les composants de mesure sont montés sur la broche de la machine ; leur faible masse (220 g) n’affecte pas la précision des mesures.
 

Le système assure une compensation numérique des conditions ambiantes à l’aide de capteurs présentant les incertitudes maximales suivantes :

  • Température de l’air : ± 0,1 °C
  • Pression atmosphérique : ± 1 hPa
  • Humidité relative : ± 5 %
  • Température du matériau : ± 0,1 °C
 

L’erreur de roulis peut être mesurée soit par le système laser (précision de 4 secondes d’arc), soit par un niveau électronique numérique (précision de 0,6 seconde d’arc).

Composants du système de mesure :

  1. Tête laser avec système d’alimentation.
  2. Réflecteur (4 rétroréflecteurs).
  3. Étalon à angle droit 50/50 %.
  4. Pentaprisme de précision permettant de modifier la direction de mesure.
  5. Jeu de câbles.
  6. Module de niveau électronique.
  7. Détecteur de position supplémentaire du faisceau laser (utile pour les applications de recherche scientifique).