Parallélisme
Le choix des éléments optiques nécessaires pour les mesures de parallélisme dépend de la méthode de mesure choisie: c’est-à-dire 3D ou Wollaston. Si la méthode 3D est utilisée, l’optique linéaire plus l’étalon à angle droit doivent être utilisées.
Méthode 3D
Dans ce cas, les composants nécessaires sont:
- Tête laser
- Source de courant
- Interféromètre linéaire IL1
- Rétroréflecteur linéaire RL1
- Etalon à angle droit RE3D
Les mesures de parallélisme basées sur la méthode 3D nécessitent que les éléments optiques IL1 et RL1 soient alignés le long du faisceau laser comme indiqué sur les figures ci-dessus. L’élément RL1 doit être déplacé. Le faisceau doit être dirigé vers l’axe perpendiculaire à l’aide de l’étalon à angle droit RE3D.
Méthode Wallastone
Les mesures de parallélisme de Wollaston nécessitent que les éléments optiques WP2 et WRP2 soient alignés le long du faisceau laser comme indiqué sur la figure 11.3. L’élément WP2 doit être déplacé d’abord le long de l’axe 1 puis le long de l’axe 2. Aucun prisme à angle droit n’est nécessaire pour cette mesure.
