Base
Para las mediciones de planitud, se deben utilizar la óptica angular más espejos adicionales. Los componentes necesarios son:
- Cabezal láser
- Fuente de alimentación
- Interferómetro angular IK1
- Catadióptrico angular RK1
- Dobladoras de dos haces ZK1
Los elementos opcionales son:
- cable USB
- Estroboscopio manual
- Soporte magnético UM2
- Trípode
- Sensor de temperatura del aire
- Sensor de temperatura base
Las mediciones de planitud requieren que los elementos ópticos IK1 y RK1 estén alineados a lo largo del rayo láser, como se muestra en la figura siguiente para el primer eje. El elemento IK1 está fijo y el elemento RK1 puede moverse. Se pueden medir otros ejes con el uso de uno o dos dobladores de haz con posición constante respecto del cabezal láser, o variando la posición del cabezal láser. En ambos casos se requiere la realineación de los componentes IK1 y RK1.
Se recomienda utilizar la opción de dejar fijo el cabezal láser porque simplifica el proceso de realineación.
Durante las mediciones de planitud, se recomienda el uso del sensor de temperatura del aire. No es necesario utilizar sensores de temperatura base.
